在几十年发展历程中，集成电路的飞速发展推动社会现代化程度跨越式提升，深刻影响了现代人类的思维方式和生活习惯。电子计算机技术的发展加速人类社会进入信息化时代，集成电路科学一定程度上成了人类科技大发展的基础。
随着5G、人工智能、物联网、自动驾驶等新兴技术的产业化加速，芯片需求量随之激增。半导体质量控制贯穿集成电路制造全过程，保证芯片性能与生产良率。随着先进制程和复杂工艺的使用，工艺环节不断增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制造过程中量测设备与检测设备的需求量倍增。
关于微崇
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从细微之基 做崇高之业
微崇于2021年3月成立，是由领先的海归半导体设备技术团队发起，与中国资深工程师和科学家团队共同建立一个，立足于非线性光学晶圆检测技术的世界先进半导体公司。微崇致力于研发最先进的半导体检测技术，生产先进的半导体检测设备。
行业介绍
Industry
Introduction
微崇产品
Aspiring Product
ASPIPER 3000
非线性光学晶圆缺陷检测系统
ASPIRER 3000非线性光学晶圆缺陷检测系统可以提供晶圆级别的缺陷检测，对界面及膜层质量进行综合测试分析，提升各类制程的良率。独有的非线性光学技术配合自主研发的检测系统可提供超高的检测灵敏度，并对有、无图案晶圆均有良好的适用性。ASPIRER 3000机台可满足客户在研发和量产中对晶圆质量的快速、无损、精准检测需求。
- 产品特点
- 非接触、无损伤
- 快速检测
- 在线检测
- 软件操作便捷
- Wafer Map等多样化表征手段
- 主要应用
- 各类成膜工艺质量的监控
- 各类生产工艺机台稳定性的监控
- 刻蚀等工艺对晶圆损伤的检测与监控
- 离子注入及退火工艺的质量监控
- 清洗等工艺质量的监控
BRAVERY 3000
光调制反射晶圆检测系统
BRAVERY 3000 是具有巨大市场价值的新型晶圆缺陷检测设备，其采用光调制反射技术，可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速、内部检测，精准诊断与定位晶圆缺陷，该产品对有/无图案晶圆均适用，可填补当前国内市场离子注入工艺非接触检测设备的国产化空白，实现晶圆注入质量特性检测量产化。
- 产品特点
- 非接触非破坏性
- 有/无图案晶圆皆适用
- 可作为在线检测设备
- 无需测前与测后处理，超快检测速度
- 软件检测操作简单
- 可自动生成wafer map等可视化数据
- 主要应用
- 各种离子注入及退火工艺的质量监控
- 刻蚀等工艺对晶圆损伤的质量监控
- 产品优势
- 自研产品，可定制化
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