11月6日,“2025全国颠覆性技术创新大赛颁奖仪式暨项目路演”活动在广州黄埔区成功举行。微崇半导体黄崇基领衔的【无损快速高精度二谐波晶圆综合检测设备】项目从2200多个参赛项目中脱颖而出,荣获优秀奖!

2025全国颠覆性技术创新大赛是由京津冀国家技术创新中心主办,上海颠覆性技术创新中心、广州颠覆性技术创新中心、黄埔创新学院承办的全国性科技赛事。采用“自办+联赛”的“奥运会”模式举行,分别在北京、上海、广州、武汉4个赛区分为集成电路与微纳系统,科学仪器,人工智能,生命健康,资源与环境,先进制造等六大领域角逐,吸引全国120个城市的2200余个优质创新项目参赛,最终评选出获奖项目99项,其中优胜奖65项、优秀奖20项、 卓越奖10项、荣誉奖4项。



微崇半导体【无损快速高精度二谐波晶圆综合检测设备】项目是基于二谐波晶圆检测技术开发的晶圆检测设备。在半导体前道制程中量检测对先进工艺研发和良率提升至关重要。本项目通过二谐波非线性光学检测技术捕捉原子级缺陷,首次实现复杂膜层特性、界面电荷、晶格缺陷的无损、在线和综合检测,检测精度国际领先,在帮助客户节省2-3个月的验证时间并提高研发竞争力的同时,规避量产当中可能的损失。二谐波晶圆综合检测设备填补了国产高端量检测装备的空白,为突破先进制程瓶颈、保障产业链安全提供关键技术支撑。

